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易天自动化申请基于视觉定位的晶圆对位方法及控制系统专利能够大幅度地提高晶圆的生产效率
发布者:小编 时间: 2025-02-07

  

易天自动化申请基于视觉定位的晶圆对位方法及控制系统专利能够大幅度地提高晶圆的生产效率(图1)

  金融界2025年1月18日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市易天自动化设备股份有限公司申请一项名为“一种基于视觉定位的晶圆对位方法及控制系统”的专利,公开号 CN 119314928 A,申请日期为2024年12月。

  专利摘要显示,本发明提供一种基于视觉定位的晶圆对位方法及控制系统,通过搬运模组将晶圆从卡塞中取出,并搬运至校正平台;通过第一对位件对晶圆进行初对位;通过第二对位件对晶圆进行二次对位;向多个伺服电机发送控制命令;控制伺服电机同时驱动多个对位模组,以将晶圆位移至基准位置;通过搬运模组将晶圆运输至贴附平台;驱动贴附头对晶圆贴附UV膜;通过切刀对晶圆进行仿型切膜;控制搬运模组将晶圆运输至卡塞内。本发明通过第一对位件和第二对位件对晶圆进行初对位和二次对位,能够实现高精度对位,且能够便于后续贴膜和切膜的进行,且能够同时驱动多个伺服电机将晶圆位移至基准位置,能够大幅度地提高晶圆的生产效率。

  天眼查资料显示,深圳市易天自动M6平台官网化设备股份有限公司,成立于2007年,位于深圳市,是一家以从事计M6平台官网算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本14016.7029万人民币,实缴资本2775.3168万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市易天自动化设备股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目228次,知识产权方面有商标信息10条,专利信息323条,此外企业还拥有行政许可13个。


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